品 牌： GATAN
名稱型號：Gatan SmartEMIC 電子束感應(yīng)電流測量系統(tǒng)
制造商： GATAN公司
經(jīng)銷商：歐波同有限公司
產(chǎn)品綜合介紹：
產(chǎn)品功能介紹：
EBIC分析系統(tǒng)，可以實時軟件控制全自動采集電子束感生電流（EBIC）信號，獲得EBIC圖像信息，還可以獲得IV曲線信息，zui終可以測試PN結(jié)位置，寬度，少子擴散長度，材料或器件的失效點定位，廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域。
產(chǎn)品系統(tǒng)特點：
高性能、地噪聲EBIC系統(tǒng)，進行定量EBIC測量。界面友好的分析軟件運行于DigitalMicrograph軟件平臺。
用于SEM的SmartEBIC 系統(tǒng)包括：
•計算機控制的、充電電池供電的EBIC放大器
•EBIC樣品座(ASH)，并配有可調(diào)節(jié)的鎢探針以進行臺式接觸。配以適當?shù)腉atan適配器還可以通過空氣鎖來裝載試樣*
•與SEM樣品臺接口
•鏈接插座及4個BNC型的電纜鏈接，低噪聲這空饋通，適于EBIC和電子束流的測量
•具有Fireware技術(shù)的DigiScan II數(shù)字電子束控制系統(tǒng)。它包括兩個模擬輸入，可同時采集攝影質(zhì)量的圖像，并可靈活控制像素強度、每點駐留時間、掃描旋轉(zhuǎn)等。對于某些SEM，它還可以通過軟件通訊SEM的操作參數(shù)。
•配有先進的SmartEBIC應(yīng)用插件的Digital Micrography軟件，以進行定量測量、線性輪廓的實時和后處理分析
產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)：
SmartEBIC可以對EBIC信號進行自動控制采集和定量分析:
掃描控制系統(tǒng):
1、1-, 2- or 4-比特數(shù)據(jù)采集提供了超大的動態(tài)范圍
2、從 16 x 1 至 8000 x 8000 像素掃描分辨率
3、電子束停留時間，在0.5毫秒/像素到300毫秒/像素之間可調(diào)
4、自動調(diào)節(jié)圖像顯示大小，使得EBIC實驗過程變得更方便
*5、配置Digi-Scan控制器，實時軟件控制全自動采集，可以在EBIC信號的采集時就對信號進行定量分析，無需附加的后處理，
*6、可獲得EBIC圖像信息，還可以獲得IV曲線信息。
噪音控制:
1. 特別設(shè)計的EBIC附屬樣品臺
2. 同軸繞線方式
3. 可重復(fù)使用的鉛酸電池 (15小時續(xù)航時間)
4. 可以改變放大器的增益，優(yōu)化數(shù)據(jù)采集的信噪比和帶寬
5. 兩種可選的一階RC濾波器 ，低通或高通濾波
6. 低漂移放大模式
7. 在與PC通訊的時間以外，系統(tǒng)的微處理器會自動切換到睡眠狀態(tài)
8. 豐富的圖像處理工具。包含銳化工具、平滑工具和傅立葉變換工具等。
9. 可以適配與Lock-in技術(shù)（本系統(tǒng)并不提供，這樣的配置系統(tǒng)將不會對EBIC信號定量分析）
追蹤:
通過軟件實現(xiàn)。在12bit（1.22mV）采集分辨率模時為+/-5V。
自動化:
即使在放大器參數(shù)設(shè)定欠佳的條件下，系統(tǒng)也能自動優(yōu)化圖像的顯示大小，從而提供更方便的圖像瀏覽
可以對放大器的偏移/增益進行自動設(shè)置
軟件:
流程式一維擴散長度測量
廣泛的面掃/線掃描分析工具，包括數(shù)學(xué)分析工具，濾波應(yīng)用等
廣泛的圖像顯示方案選項，包括二次電子圖像與EBIC圖像的疊加
編程語言可助您為自己的實驗編寫定制化軟件
產(chǎn)品主要應(yīng)用領(lǐng)域：
測試PN結(jié)位置，寬度，少子擴散長度金屬材料
材料或器件的失效點定位
測試半導(dǎo)體材料的位錯密度
IV特性測試
應(yīng)用實例：
應(yīng)用一：測試PN結(jié)位置，寬度，少子擴散長度
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應(yīng)用二：材料或器件的失效點定位
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品 牌： GATAN
名稱型號：Gatan SmartEMIC 電子束感應(yīng)電流測量系統(tǒng)
制造商： GATAN公司
經(jīng)銷商：歐波同有限公司
