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陰極熒光光譜（cathodoluminescence spectroscopy）簡稱CL譜，是指利用電子束激發半導體，將價帶電子激發到導帶并在價帶留下空穴，而后由于導帶能量高不穩定，被激發電子又重新躍遷回價帶與空穴復合，并釋放出能量E≤Eg（能隙）的特征熒光譜。

例1：石英晶體CL像

例2：CL在半導體中的應用